電子無(wú)塵車間靜電的控制可分為兩類：高濕度實(shí)際上減少了無(wú)塵車間和潔凈室表面靜電的積累，是理想的效果。較低的濕度更適合電荷積聚和潛在的破壞性靜電釋放源。

　　當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，靜電荷可以在絕緣體或不接地表面上存在。

　　相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折衷方案。電子無(wú)塵車間和潔凈室一般采用附加的控制裝置來(lái)限制靜電的積聚。隨著相對(duì)濕度的增加，包括腐蝕過(guò)程在內(nèi)的許多化學(xué)反應(yīng)的速率都會(huì)增加。電子無(wú)塵車間和潔凈室周圍暴露在空氣中的所有表面都迅速覆蓋至少一層水。當(dāng)這些表面由能與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度會(huì)加速反應(yīng)。幸運(yùn)的是，一些金屬，如鋁，可以與水形成保護(hù)性氧化層，防止進(jìn)一步氧化；但另一種情況，如氧化銅，不具有保護(hù)性，因此銅表面在高濕度環(huán)境中更容易受到腐蝕。

　　電子無(wú)塵車間的溫濕度控制主要是由于其生產(chǎn)工藝的要求：

　　在電子工業(yè)中，制造車間是產(chǎn)生靜電的重要場(chǎng)所。通常情況下，靜電會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品短路，甚至導(dǎo)致工作人員導(dǎo)電暈厥事故。因此，電子工業(yè)無(wú)塵車間的相對(duì)濕度不應(yīng)小于30%，可以減少靜電的產(chǎn)生。一般建議無(wú)塵車間防靜電區(qū)域的相對(duì)濕度不低于50%。干燥空氣過(guò)多容易揚(yáng)塵。電子廠無(wú)塵車間無(wú)特殊要求，溫度控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在55%-60%相對(duì)濕度。在這種環(huán)境中，人們感到舒適，靜電消失了。